随着矽光芯片規模不斷擴展、功能不斷增強，具備靈活的多功能可編程、可重構能力至關重要。然而，現有的可編程矽光芯片技術主要基于熱光移相器件，普遍存在功耗大、調控難度大、工作帶寬受限、加工容差小等不足，嚴重阻礙了其規模擴展和性能提升。基于微納電機（MEMS/NEMS）驅動的可重構矽光集成器件是近年來新興的前沿交叉研究領域，具有光機電有機融合、協同工作的特點，可廣泛應用于大容量光通信、大規模光傳感、高性能光計算等重大領域。此類器件通過電路驅動改變光路機械結構，以實現移相、開關等功能，很好地解決了傳統熱光移相器件的不足，實現了目前最大規模的矽光路由芯片（240×240端口）和焦平面陣列激光雷達芯片（128×128像素）。本次報告将簡要介紹該領域國際發展現狀和浙江大學相關階段性成果。