位于極紫外或軟X射線波段的電磁波擁有超短的波長和大量元素的吸收邊，是研究材料科學和納米科學必不可少的工具。近來，随着極紫外光刻技術敲開了5nm制程的手機芯片的大門，極紫外光的應用也正式地“走入”了千家萬戶。然而至今，有效獲得極紫外或軟X射線光源仍是困擾科學家們的重要難題。雖然同步輻射加速器和自由電子激光器等大型極紫外或軟X射線可解燃眉之急，但是，高能耗、高造價和大體積大大地限制了其應用。另辟蹊徑，經過35年磨練的基于極端非線性光學的高次諧波技術已經成為了一種小體積，低造價，低功耗，且擁有較高功率和高穩定度的極紫外或軟X射線激光光源，已經在材料科學和半導體芯片領域初露鋒芒。本報告将從極紫外激光技術的難點出發，讨論高次諧波極紫外激光技術的原理及其優越性，最後介紹其在納米成像技術，半導體檢測以及量子計算機芯片研發中的重要應用。