超聲換能器被廣泛應用于醫療成像、工業無損檢測、汽車超聲波雷達等。基于體壓電材料的傳統超聲換能器具有體積大、不易加工、低帶寬等缺點，限制了其在很多高端智能系統以及消費電子的應用。針對以上迫切需求，MEMS技術為超聲換能器的發展與應用注入了新的動力，在降低大批量生産成本的同時，實現了低功耗、小型化、一體化集成的高性能微型超聲換能器（MUT）陣列。MUT把超聲技術的應用推向了新的高度，實現了其在智能手機、汽車電子、智能家居、自動駕駛、機器人以及醫療器械等新興領域的應用包括超聲指紋識别傳感器、XR/元宇宙的人機交互、即使診斷的超聲成像設備、以及超聲可穿戴等。本報告會側重于介紹MUT的前沿進展包括其機理、工藝、系統集成、應用研究等。